光纤馈通法兰

光纤馈通法兰

维意真空提供的光纤过真空装置可以将光导入或导出真空室,以实现超高真空的应用场合,例如半导体处理的光学监测和薄膜吸附的终检测。 在隔空箱和高压应用场合下有较好的表现,真空度高达大10 -7 mbar ,操作温度高达300℃,真空室壁厚5-40 mm,玻璃或金属封口光纤使性能表现提高,VFT光纤过真空装置使用牢固的金属-玻璃封口胶,使VFT在超高真空应用场合的表现得到提高。 光纤过真空装置除了在半导体和薄膜处理方面的应用,还是环境检测、药物学处理和光学涂层生产的理想工具。它还可以应用在分子束外延和化学物理的蒸