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掩膜版根据基板材质的不同可分为石英掩膜版、苏打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)。石英掩膜版使用石英玻璃作为基板材料,光学透过率高,热膨胀率低,相比苏打玻璃更为平整耐磨,使用寿命长,主要用于高精度掩膜版,苏打掩膜版则使用苏打玻璃作为基板材料,光学透过率较高,热膨胀率相对高于石英玻璃,平整度和耐磨性相对弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版;而凸版使用不饱和聚丁二烯树脂作为基板材料,主要用于液晶显示器(LCD)制造过程中的定向材料移印;菲林使用PET 作为基板材料,主要用于电路板掩膜。 掩膜版材料及厚度的选取: