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铌酸锂晶片精密切割镀膜晶圆激光打孔刻槽改小加工支持定制

传统硅片切割方式是机械切割,速度慢、断面平整性差、碎片多、不环保。硅是一种脆性材料,机械切割极易使边缘产生破裂,造成硅表面弹性应变区、位错网络区和碎晶区的组成层损伤,甚至可能造成隐形裂纹,影响电性参数等危害。激光切割技术具有无接触、无机械应力、切缝宽度小、断面平整光滑、精度高、速度快、性能稳定等优势;不会损伤硅片结构,电性参数要优于传统的机械切割方式,可应用于大面积电池片进行划线切割,做到**控制切割精度及厚度,减少切割碎屑,提高电池利用率。 太阳能行业中,光伏电池的生产中涉及了大规模的硅晶片的切割,目前