主要配置 参数 型号 G3 Base 振镜参数 入射光斑 10mm 跟随误差 0.2ms 标刻速度 5000mm/s 定位速度 10000mm/s 1%全行程 0.32ms 10%全行程 1.2ms 重复精度 < 2µrad 增益漂移 < 150ppm/K 零位漂移 < 50µrad/K 8小时漂移 < 0.2mrad 非线性度 < 1% 扫描角度 ±0.35rad 信号波长 通讯协议 XY2-100 波长 10600nm、1064nm、532nm、 355nm 供电参数 供电电源 ±15V DC，5A
非标零部件
2024年10月27日
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