四 路质子混气管式PECVD 本炉子分为四大部分：开启式管式炉，等离子射频电源（50-500w），真空泵和阀门、质子流量计。 该炉在传统PECVD系统基础上实现了快速加热、冷却功能，该炉底部安装了一对滑轨，可手动滑动。采用双层壳体结构。该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者。为取得快速加热，可以预先加热炉子到设定的温度，移动炉子到样品位置。为获得快速冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。 主要特点：虽环境温度在100-300℃，但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解，离解和离化
非标零部件
2024年10月12日
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