1.设备简介 本设备是一款小型电阻蒸发镀膜仪，主要特点是设备体积小，结构简单紧凑易于操作，也可整机放置于手套箱内，对实验室供电要求低；该系列设备主要部件采用进口或者国内优的配置，从而提高设备的稳定性；自主开发的智能操作系统在设备的运行重复性及安全性方面得到更好地保障。 目前该设备配3组电阻蒸发源（可兼容金属与有机蒸发），一台2000W直流蒸发电源，主要用来开发纳米级单层及多层的金属导电膜、有机薄膜等。 2.主要技术参数 2.1 腔室尺寸：Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接；
非标零部件
2024年09月05日
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