有机热蒸发镀膜机
设备配置: 一、 手套箱 1.金属薄膜沉积与器件封装、检测用手套箱1台: 1.1 箱体尺寸:双工位手套箱,长度约1800 mm。箱体预留镀膜 机接口法兰,手套箱后板可安装一台镀膜机,手套箱内具有 安装器件封装与性能检测装置的空间。 1.2 配置4只手套,可方便实现沉积室取送样品,以及器件封装 与性能检测等操作。 1.3 配置≥ 2套KF40标准接口。 2.手套箱技术指标与功能要求: 2.1箱体材料:不锈钢箱体。 2.2箱体结构:具有可拆卸的安全玻璃视窗;配双层不锈钢物 架;带有安全阀; 2.3密封性:视窗