有机热蒸发镀膜机
设备配置： 一、 手套箱 1．金属薄膜沉积与器件封装、检测用手套箱1台： 1.1 箱体尺寸：双工位手套箱，长度约1800 mm。箱体预留镀膜 机接口法兰，手套箱后板可安装一台镀膜机，手套箱内具有 安装器件封装与性能检测装置的空间。 1.2 配置4只手套，可方便实现沉积室取送样品，以及器件封装 与性能检测等操作。 1.3 配置≥ 2套KF40标准接口。 2．手套箱技术指标与功能要求： 2.1箱体材料：不锈钢箱体。 2.2箱体结构：具有可拆卸的安全玻璃视窗；配双层不锈钢物 架；带有安全阀； 2.3密封性：视窗
