主要配置 主要配置 参数 型号 G3 Weld-30 振镜参数 入射光斑 30mm 跟随误差 0.58ms 标刻速度 700mm/s 定位速度 3000mm/s 1%全行程 1.5ms 10%全行程 4.2ms 重复精度 < 10µrad 增益漂移 < 30ppm/K 零位漂移 < 30µrad/K 8小时漂移 < 0.3mrad 非线性度 < 3.5mrad/44° 扫描角度 ±0.35rad 信号波长 通讯接口 XY2-100 供电参数 供电电源 ±15V DC,5A 基本参数 冷却方式 水冷 工作温
非标零部件
2024年08月21日
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