精密振镜FalconScan-20

精密振镜FalconScan-20

主要配置 *注: 典型参数,可以根据工艺需求作定制调校 产品尺寸图 产品特点 全数字光栅反馈振镜 21Bits超高的位置分辨率 超高精度、低温漂 可根据工艺需求定制调校 典型应用