键合机方案介绍 一、 真空室 炉体采用304优质不锈钢氩弧焊接而成，整体结构为立式圆柱形，上下优质304不锈钢法兰封头，双层水冷；炉体上安装ISO100真空抽气口、KF16充气口、KF16电阻规真空测量接口、KF16排气口、CF35电极法兰接口、Φ6-K型热电偶接口等；上盖安装固定法兰与水冷上压头压氟胶圈密封，上盖安装提手和导向孔，与炉体上法兰安装的导向柱配合实现方便操作定位的作用，水冷下压头通过焊接波纹管法兰与下盖压氟胶圈密封。系统极限真空优于6.67*10-3Pa 二、 加热器 加热器采用AC220V
非标零部件
2024年10月28日
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