高线性度、低温漂 低噪音、响应时间短 高速、高精度 主要配置 标刻速度：5000mm/s 定位速度：16000mm/s 1%全行程：≤0.26ms 10%全行程：≤0.62ms 非线性度：<1mrad/44° 重复精度：<2μrad 增益漂移：<50PPM/k 零位漂移：<25μrad/k 8小时漂移：<0.1mrad 扫描角度：±0.35rad 镜片光斑：10mm 接口协议：XY2-100 供电：±15VDC，5A 重量：2100g 工作温度：25℃±10℃ 分辨率：16bit 入射孔径：10mm 波长
非标零部件
2024年09月13日
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