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产品详情
- 供应商：
- 北京维意真空技术应用有限责任公司
- 报价：
- 人民币￥200000.00元每台
- 关键词：
- 化学气象沉积，镀膜机，等离子
- 所在地：
- 北京市大兴区旧桥路25号院
- 联系电话：
- 010-67947887
- 手机号：
- 15611171559
- 销售部经理：
- 于磊
详细描述
三温区PE-CVD技术参数名称规格产品名称PECVE智能一体机显示模式7"真彩触摸屏液晶显示（LCD）温度曲线30段"时间—温度曲线"任意可设预存曲线可预存15条温度曲线操作界面图形界面提示,触摸屏输入实时监控，动态显示“时间-温度曲线”超温报警有断偶提示测温元件S型热电偶升温速率0-30 ℃/min工作电源AC380V /50HZ整机功率12KW温度1400℃长期工作温度1350℃加热区域三个加热区域控温方式模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，质量流量计：四路型号采用D07-7及对应显示仪表气体种类氢气：200sccm甲烷：100 sccm氮气：750 sccm氩气：300 sccm射频电源功率500w，频率：13.56MHz真空计测量范围0.01-100000Pa真空泵TRP-36真空度5Pa手持式测温仪S型热电偶 长度500mm刚玉管100*2000石英管80*2000软件功能1：加热温区移动速度触摸屏可以调节。2：射频电源开启时间，可以设定，时间到后自动停止射频电源。3：自动切换气体功能，（不同温度通入不同气体，或者根据需求进行定做）。4：自动检测真空度，根据真空度的大小，自动启动射频电源。5：真空泵自动启动，根据真空度，系统自动判断是否需要启动真空泵。6：其他功能根据要求定做.包装模式三合板木质包装箱随机配件石英舟3只;刚玉坩埚3只；炉钩一个;高温手套一套;随机工具;说明书1份;。相关产品：化学气象沉积 , 镀膜机 , 等离子
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