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产品详情
- 报价：
- 人民币￥385000.00元每套
- 关键词：
- 镀膜机，热蒸发镀膜机，磁控镀膜机，磁控溅射镀膜机
- 所在地：
- 北京市大兴区旧桥路25号院
- 联系电话：
- 010-67947887
- 手机：
- 15611171559
- 销售部经理：
- 于磊
- 所属企业：
- 北京维意真空技术应用有限责任公司
详细描述
技术指标：1.真空室的极限真空度达5*10-5pa，漏率为关机12小时≤5pa2.真空腔内配有集约样品台一套，配有大挡板和16套小挡板，手动控制，开关方便快捷，每个小挡板挡两块30*30mm样片3. 蒸发源共14套，其中10套有机蒸发源，4套金属蒸发源。控温精度±1℃，可以实现温度或电流补偿实现蒸镀速率稳定的功能4. 金属蒸发源配4台一带一1000W可控硅调压电源，通过铜电极连接，两端可夹钨绞丝或者钽舟，钨绞丝可以蒸镀丝状或者大颗粒材料，钽舟可以蒸镀粉末状材料，蒸发源采用陶瓷全密封，避免交叉污染5. 有机蒸发源配10台一带一温控电源，有机源温度为室温-500度，可以根据材料及用户需求自行调节6. 样品台具有旋转、升降功能，可在线更换掩膜板一次，可装载30mm*30mm样品16块。本产品每两个样品都配有小挡板，并且通过PLC控制步进电机对每个小挡板做16个定位，使机械手推拉小挡板，样品与蒸发源之间的间距为200-300mm
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