有机热蒸发镀膜机

设备配置：一、手套箱1．金属薄膜沉积与器件封装、检测用手套箱1台：1.1 箱体尺寸：双工位手套箱，长度约1800 mm。箱体预留镀膜机接口法兰，手套箱后板可安装一台镀膜机，手套箱内具有安装器件封装与性能检测装置的空间。1.2 配置4只手套，可方便实现沉积室取送样品，以及器件封装与性能检测等操作。1.3 配置≥ 2套KF40标准接口。2．手套箱技术指标与功能要求：2.1箱体材料：不锈钢箱体。2.2箱体结构：具有可拆卸的安全玻璃视窗；配双层不锈钢物架；带有安全阀；2.3密封性：视窗与箱体之间无泄漏，手套口与手套和视窗之间密封良好、耐用，无泄漏。2.4泄露率：≤ 0.05vol%/h，泄漏率可检测；H2O <1ppm，O2< 1ppm。2.5 净化效率：高净化效率，再生间隔时间长。2.6过渡仓：手套箱的箱体外侧各另设置一个过渡舱，过渡仓尺寸≥ 150mm，长度为300 mm。2.7传送及操作方式：过渡仓内设置可滑动托盘，样品可通过移动托盘传送至手套箱内，托盘易于拆卸；手动操作。2.8控制系统：用户友好的中英文操作界面的触屏。实现以下控制功能：工作压力调节、箱内气体自动清洗、箱内气氛自动报警、显示操作错误提示、可手动或自动检测泄漏率等。2.9 其他附件： （1）真空泵，气体纯化系统：气体纯化柱、循环风机、有机溶剂吸附柱；  （2）水、氧分析仪：分析仪精度0.2 ppm或以上；分析仪输出可直接连接到触摸控制屏，可对气体循环系统进行自动控制，实现自动循环；可设定报警值；  （3）箱内电源接口：配多孔电源插座。  （4）手套箱总体功能要求：样品送入大（或小）过渡仓后，可在高纯气氛或真空气氛条件下实现有机薄膜沉积、金属电极薄膜沉积、器件封装及性能检测等功能。  （5）手套箱验收标准：使用99.999%惰性气源，空箱运转，箱内水氧含量均小于1ppm。二、真空热蒸发镀膜机系统1. 技术要求：1.1真空度: 极限真空<2.5*10-5Pa，工作真空度< 8*10-4Pa，抽速：从大气抽至10-4Pa用时应≤ 30min；1.2样品架： （1）可对样品实施360度电动旋转，转速可在0 ~ 30转/min内连续调节。 （2）高度可调，蒸镀距离在120-250mm范围内可调节。1.3样品尺寸：样品基本尺寸为15×15mm/块，可分别承装如下数量的样品：  （1）3块×3块排列方式，可承装9块/次。  （2）4块×4块排列方式，可承装16块/次。1.4各密封接口真空漏率≤5×10-9Torr?L/s（用进口氦质谱检漏仪检测）。1.5膜厚控制设备：膜厚探头2个，探测数据可显示在膜厚仪上。1.6样品台（基片台）配备挡板，蒸发源配备可有效防止不同材料交叉污染的遮挡装置。2. 配置：2.1真空沉积腔体：具有观察窗，手动开门设置方便取样和进样。2.2镀膜机与手套箱的连接方式： 要求镀膜机位于手套箱外（背后），蒸发室在手套箱内有方形门，可实现样品由手套箱内直接传进蒸镀室。要求蒸镀室与箱体之间无泄漏，蒸镀室口与手套箱接口密封良好、耐用，无泄漏。2.3要求蒸发室在手套箱外另有一个门，手动开门设置，便于清理和维修操作。2.4 蒸发源4套：可蒸发金（Au）、银（Ag）、铬（Cr）、钛（Ti）、铝（Al）、铂（Pt）、氧化钼（MoO3）和LiF等材料。蒸发源相关的其他要求如下：  （1）蒸发电极可加载蒸发舟或者钨篮，配备标准钼舟及钨蓝各10个。  （2）蒸发电源1套，可转换供四套蒸发源使用，可在一次抽真空操作后实现4种材料的顺次蒸镀，既可连续蒸镀4层不同材料。2.5真空获得系统：预抽机械泵1个，分子泵1个以及相应的附件，分子泵水冷系统；分子泵与沉积室之间具备闭锁条件。2.6升降样品架。2.7真空测量系统。2.8膜厚测试系统。2.9工作台：含真空计，蒸发源电源和相应控制系统，加热源控制系统，膜厚测量系统，总电源控制区。