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产品详情
- 供应商：
- 北京维意真空技术应用有限责任公司
- 报价：
- 人民币￥450000.00元每台
- 关键词：
- 定制，等离子，CVD，PE-CVD，镀膜机，化学气象沉积
- 所在地：
- 北京市大兴区旧桥路25号院
- 联系电话：
- 010-67947887
- 手机号：
- 15611171559
- 销售部经理：
- 于磊
详细描述
1、整体设备采用聚簇式结构：a.样品室作为转换室，可实现3*5片样品的自动传递与收纳；b.3个反应室合理分布在样品室周边，真空密封连接；c.反应室加热温度分别是1200℃、1400℃、1700℃，显示精度0.1℃，控制精度±0.5℃，30段程序控温，超温、断偶报警功能；d.反应室具备样品淬火冷阱，便于实现设计工艺要求；e.其中之一反应室为石英腔室，可方便观察内部样品沉积状况，其他两个反应室应设置石英观察窗口，便于观察及测量；f.中控区域置于合理操作区域，并尽量与整体设备合理布局，减少占地面积；g.中控机构控制部分采用工业PLC控制，人机界面采用嵌入式触摸屏；h.整体设备做到去仪表化，减少仪表的使用，要求工控集成度高；i.控制部分可实现自动化与手动化操作的兼容性和可切换性；j.人机界面具备不同实验组数据区别存储化、数据U盘库导入/出功能、界面曲线表格化。2、样品直径尺寸2英寸，厚度1mm，样品根据实验功能化，需要对设备提出如下要求：a.样品在高温状态反应结束后，需迅速进入急冷状态，实现淬火；b.样品在反应室坩埚升温至所需反应温度过程中不可与反应物接触，减少在升温过程的沉积几率，提高实验数据准确性；c.样品在反应室内不得出现侧翻、放置不平等影响镀膜的状况出现。3、设备工作真空度要求：a.整体设备真空度≤5Pa，漏率≤10-7Pa
L/s；b.设备可实现自动、手动稳压、恒压的功能。4、设备充气要求：a. 设备充气系统分为4路质量流量计控制流速，气体流量范围为0-200sccm，误差为±1.5%；b. 设备充气系统可实现自动、手动稳压、恒压的功能。5、3个反应室等离子体辉光放电采用射频电源：a.射频频率：13.56MHz；b.射频功率输出范围：5~500W。6、设备基本参数：a.额定总功率20KW；b.380V,三相四线制；c.占地面积4m*4m；d.总重量400Kg。相关产品：定制 , 等离子 , CVD , PE-CVD , 镀膜机 , 化学气象沉积
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