*** 源瓶（起泡器）用于固态、液态及气态超纯物料类的封装，涉及微正压、 常压、中低压的危险化学品，所以对源瓶的安全性和洁净度提出严苛的要 求。 *** 源瓶特点： 1、所有管件采用316L不锈钢，内部经400目机械抛光和电化学抛光，Ra≦0.25微米； 2、阀门有美国世伟洛克球阀和隔膜阀、日本富士金隔膜阀和韩国TK隔膜阀供选择； 3、密封垫片选用纯银镀镍垫片； 4、氦质谱检测泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s； 5、可盛装化学品纯度≧99.9995; 6、总残余元素量≦50PPb； 7、坠落试验
非标零部件
2024年10月10日
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