三温区PE-CVD技术参数 名称 规格 产品名称 PECVE智能一体机 显示模式 7"真彩触摸屏液晶显示（LCD） 温度曲线 30段"时间—温度曲线"任意可设 预存曲线 可预存15条温度曲线 操作界面 图形界面提示,触摸屏输入 实时监控，动态显示“时间-温度曲线” 超温报警 有 断偶提示 测温元件 S型热电偶 升温速率 0-30 ℃/min 工作电源 AC380V /50HZ 整机功率 12KW 温度 1400℃ 长期工作温度 1350℃ 加热区域 三个加热区域 控温方式 模糊PID控制和自整定调节，智能
非标零部件
2024年08月08日
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