高真空多源热蒸发镀膜机

高真空多源热蒸发镀膜机

真空:极限真空6*10 -5 帕 工作真空6*10 -4 帕 恢复工作真空时间:连接手套箱≤10分钟 不连接手套箱,充干燥氮气≤30分钟 本套设备配有8个有机源及2个金属源 金属蒸发源和有机蒸发源可按客户要求配置 膜厚探头及膜厚仪有国产或者进口可选 金属蒸发源配有1000w电源 有机蒸发源配有可控温电源,控温精度±1℃